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SPS400

- 紧凑的构造体现轻巧化​

- 通过构造分析的高强度构造

- 高反复位置精密度 ±1㎛

- 高行走平行度 ±1㎛

- 利用滚柱轴承和线性导轨(LM guide)使载物台可以进行旋转运动