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SPS400

- 컴팩트한 구조로 경량화 구현

- 구조해석을 통한 고강성 구조 
- 높은 반복위치정밀도 ±1㎛  
- 높은 주행평행도 ±1㎛  
- 크로스 롤러베어링과 LM Guide를 이용하여 회전운동이 가능하게 만든 스테이지